Szubsztrátum:UV olvadt szilícium
Mérettűrés:-0,1 mm
Vastagsági tűrés:±0,05 mm
Felületi síkosság:1 (0,5) @ 632,8 nm
Felületi minőség:40/20
Élek:Föld, 0,3 mm max. Teljes szélességű ferde
Tiszta rekesznyílás:90%
Központosítás:<1'
Bevonat:Rabs<0,25%@Design Hullámhossz
Sérülési küszöb:532 nm: 10J/cm², 10ns impulzus
1064 nm: 10J/cm²,10ns impulzus