Az optikai formatervezés széles körű alkalmazásával rendelkezik a félvezető mezőben. Egy fotolitográfiai gépen az optikai rendszer felelős a fényforrás által kibocsátott fénysugár fókuszálásáért, és a szilícium ostyára vetítéséért, hogy feltárja az áramkör mintáját. Ezért az optikai alkatrészek megtervezése és optimalizálása a fotolitográfiai rendszerben fontos módszer a fotolitográfiai gép teljesítményének javítására. Az alábbiakban bemutatjuk a fotolitográfiai gépekben használt optikai alkatrészeket:
Vetési cél
01 A vetítési célkitűzés egy litográfiai gép kulcsfontosságú optikai eleme, amely általában lencsék sorozatából áll, beleértve a konvex lencséket, a konkáv lencséket és a prizmákat.
02 A funkció az, hogy a maszk áramköri mintáját zsugorítsa, és a fotorezistával bevont ostyára összpontosítsa.
03 A vetítési célpont pontossága és teljesítménye döntő hatással van a litográfiai gép felbontására és képalkotó minőségére
Tükör
01 Tükröka fény irányának megváltoztatására és a megfelelő helyre irányítják.
02 Az EUV litográfiai gépekben a tükrök különösen fontosak, mivel az EUV fényt az anyagok könnyen felszívják, ezért nagy reflexiós tükröket kell használni.
03 A reflektor felületi pontossága és stabilitása szintén nagy hatással van a litográfiai gép teljesítményére.
Szűrők
A 01 szűrőket használják a nem kívánt fényhullámok eltávolítására, javítva a fotolitográfiai folyamat pontosságát és minőségét.
02 A megfelelő szűrő kiválasztásával biztosítható, hogy csak egy adott hullámhossz fénye lép be a litográfiai gépbe, ezáltal javítva a litográfiai folyamat pontosságát és stabilitását.
Prizmák és más alkatrészek
Ezenkívül a litográfiai gép más kiegészítő optikai alkatrészeket is használhat, például prizmákat, polarizátorokat stb. Ezen optikai alkatrészek kiválasztásának, tervezésének és gyártásának szigorúan be kell tartania a releváns műszaki szabványokat és követelményeket a litográfiai gép nagy pontosságának és hatékonyságának biztosítása érdekében.
Összefoglalva: az optikai alkatrészek alkalmazása a litográfiai gépek területén célja a litográfiai gépek teljesítményének és termelési hatékonyságának javítása, ezáltal támogatva a mikroelektronikai gyártóipar fejlesztését. A litográfiai technológia folyamatos fejlesztésével az optikai alkatrészek optimalizálása és innovációja nagyobb potenciállal is szolgál a következő generációs chipek gyártásában.
További betekintés és szakértői tanácsokért látogasson el weboldalunkrahttps://www.jiujonoptics.com/Ha többet szeretne megtudni termékeinkről és megoldásainkról.
A postai idő: január-02-2025
