Az optikai tervezésnek széles köre van a félvezetők területén. A fotolitográfiás gépben az optikai rendszer felelős a fényforrás által kibocsátott fénysugár fókuszálásáért, és a szilícium lapkára vetítéséért, hogy megmutassa az áramköri mintát. Ezért a fotolitográfiai rendszerben az optikai alkatrészek tervezése és optimalizálása fontos módja a fotolitográfiai gép teljesítményének javításának. Íme néhány a fotolitográfiai gépekben használt optikai komponensek közül:
Vetítési cél
01 A vetítőobjektív a litográfiai gép kulcsfontosságú optikai alkatrésze, amely általában lencsék sorozatából áll, beleértve a domború lencséket, a homorú lencséket és a prizmákat.
02 Feladata a maszk áramköri mintázatának zsugorítása és a fotoreziszttel bevont ostyára fókuszálása.
03 A vetítési objektív pontossága és teljesítménye döntően befolyásolja a litográfiai gép felbontását és képminőségét
Tükör
01 Tükröka fény irányának megváltoztatására és a megfelelő helyre történő irányítására használják.
02 Az EUV litográfiai gépekben a tükrök különösen fontosak, mivel az EUV fényt könnyen elnyelik az anyagok, ezért nagy fényvisszaverő képességű tükröket kell használni.
03 A reflektor felületi pontossága és stabilitása is nagy hatással van a litográfiai gép teljesítményére.
Szűrők
01 A szűrők a nem kívánt hullámhosszú fény eltávolítására szolgálnak, javítva a fotolitográfiai folyamat pontosságát és minőségét.
02 A megfelelő szűrő kiválasztásával biztosítható, hogy csak meghatározott hullámhosszú fény kerüljön a litográfiai gépbe, ezáltal javul a litográfiai eljárás pontossága és stabilitása.
Prizmák és egyéb alkatrészek
Ezenkívül a litográfiai gép más kiegészítő optikai alkatrészeket is használhat, például prizmákat, polarizátorokat stb., hogy megfeleljen a speciális litográfiai követelményeknek. Ezen optikai alkatrészek kiválasztásának, tervezésének és gyártásának szigorúan be kell tartania a vonatkozó műszaki szabványokat és követelményeket a litográfiai gép nagy pontosságának és hatékonyságának biztosítása érdekében.
Összefoglalva, az optikai alkatrészek alkalmazása a litográfiai gépek területén a litográfiai gépek teljesítményének és gyártási hatékonyságának javítását célozza, ezzel is támogatja a mikroelektronikai gyártóipar fejlődését. A litográfiai technológia folyamatos fejlődésével az optikai alkatrészek optimalizálása és innovációja is nagyobb lehetőséget biztosít a következő generációs chipek gyártásához.
További információkért és szakértői tanácsokért látogasson el weboldalunkra a címenhttps://www.jiujonoptics.com/hogy többet tudjon meg termékeinkről és megoldásainkról.
Feladás időpontja: 2025-02-02
